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화학적기계연마 패드 표면 구조의 기계적 역할에 대한 고찰
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .05
제어된 마이크로 패턴 표면 구조를 가지는 CMP 용 연마패드의 장시간 연마 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
패드 표면의 마이크로패턴 형상에 따른 화학적기계연마 재료제거율
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
구조화된 표면을 가지는 CMP 연마 패드의 표면 특성이 재료제거율에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
산화막 CMP 에서 패드 점탄성이 패턴의 단차 감소에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Finite Element Analysis on Dynamic Viscoelasticity of CMP Polishing Pad
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2019 .02
DNN을 이용한 CMP 패드 컨디셔닝에서의 패드 마모 프로파일 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
SiO₂ CMP의 연마율 향상을 위한 마이크로패턴 패드 폴리머 물성 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
랩그라인딩 공정에서의 연마율 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
화학적기계연마 공정에서 연한 연마패드 표면 구조의 기계적 역할에 대한 고찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
화학기계적 연마에서 컨디셔너의 회전속도비에 따른 연마패드 마모해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
광경화 적층제조된 CMP 패드의 연마 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
컨디셔닝 공정에서 컨디셔너와 연마 패드의 속도비에 따른 CMP 연마 패드 형상 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
연마 압력 및 패드 표면 거칠기를 이용한 XGBoost 기반의 CMP 재료 제거율 예측
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
CMP 에서 패드 돌기와 디바이스 패턴의 접촉 모드에 따른 연마율 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
패드 마모 균일성 향상을 위한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수 연구
Tribology and Lubricants
2022 .02
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