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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
박병훈 (동아대학교) 박범영 (부산대학교) 전언찬 (동아대학교) 이현섭 (동아대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Tribology and Lubricants 제38권 제1호
발행연도
2022.2
수록면
1 - 7 (7page)

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2024

CMP 패드 컨디셔닝에서 딥러닝을 활용한 컨디셔너 스윙에 따른 패드 마모 프로파일에 관한 연구
박병훈 ,  황해성 ,  이현섭 Tribology and Lubricants 2024.04 학술저널

2022

인공신경망을 활용한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수에 따른 컨디셔닝 밀도의 불균일도 분석
박병훈 ,  이현섭 Tribology and Lubricants 2022.08 학술저널
패드 마모 균일성 향상을 위한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수 연구
박병훈 ,  박범영 ,  전언찬 외 1명 Tribology and Lubricants 2022.02 학술저널

2021

CMP 컨디셔닝 시스템 설계변수에 따른 패드 마모 프로파일 연구
박병훈 ,  이현섭 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Chemical-mechanical polishing (CMP) process is a semiconductor process that planarizes a wafer surface using mechanical friction between a polishing pad and a substrate surface during a specific chemical reaction. During the CMP process, polishing pad conditioning is applied to prevent the rapid degradation of the polishing quality caused by polishing pad glazing through repeated material removal processes. However, during the conditioning process, uneven wear on the polishing pad is inevitable because the disk on which diamond particles are electrodeposited is used. Therefore, the abrasion of the polishing pad should be considered not only for the variables during the conditioning process but also when designing the CMP conditioning system. In this study, three design variables of the conditioning system were analyzed, and the effect on the pad wear profile during conditioning was investigated. The three design variables considered in this study were the length of the conditioner arm, diameter of the conditioner disk, and distance between centers. The Taguchi method was used for the experimental design. The effect of the three design variables on pad wear and uniformity was assessed, and new variables used in conditioning system design were proposed.
#Chemical mechanical planarization(화학적 기계 평탄화) #Pad conditioning(패드 컨디셔닝) #Design variables(설계 변수) #Conditioning simulation(컨디셔닝 시뮬레이션) #Pad wear profile(패드 마모 프로파일)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법 및 내용
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

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심대보 ,  양찬영 ,  김보현 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2022 .10
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