원통형 화학증착로에서 균일한 박막형성을 위한 입구 농토분포의 최적화 ( Optimization of Inlet Concentration Condition for Uniform Film Growth in a Cylindrical CVD Chamber )

조원국 ,  최도형 ,  김문언

대한기계학회 논문집 B권

1998 .02

웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술

최미경 ,  김은경

대한용접·접합학회지

2008 .02

웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구

변순석 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

프로펠러 팬 설계를 위한 입구경계 유동장의 결정

김태경 ,  조강래

대한설비공학회 학술발표대회논문집

1996 .07

A Study on the Effect of Inlet Boundary Condition on Flow Characteristics of a Supersonic Turbine

Bong-Gun Shin ,  Kui-Soon Kim ,  Jin-Han Kim

International Journal of Aeronautical and Space Sciences

2005 .05

반도체 웨이퍼의 스트레스 측정을 위한 공정 및 표면 검사시스템 구현

조태익 ,  오도창

전자공학회논문지-SD

2008 .08

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 장착 위치 인식 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

멀티미디어학회논문지

2010 .03

다구찌 방법에 의한 12인치 웨이퍼 폴리싱의 가공특성에 관한 연구

최웅걸 ,  최승건 ,  신현정 외 1명

한국기계가공학회지

2012 .12

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

태양광 실리콘 웨이퍼 세정제 개발

배수정 ,  이호열 ,  이종기 외 2명

청정기술

2012 .03

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

최적조건 선정을 위한 Pad 특성과 Wafer Final Polishing의 가공표면에 관한 연구

원종구 ,  이은상 ,  이상균

한국기계가공학회지

2012 .02

공조기 입구형상의 최적설계

최영석 ,  이용갑

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

2001 .04

웨이퍼두께 표준 개발

김재완 ,  엄태봉 ,  김종안 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

웨이퍼 온도 균일도를 위한 급속 열공정 (RTP)의 최적화

강새별 ,  오혁근 ,  이준식

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

웨이퍼 표면상의 입자침착에 관한 수치 시뮬레이션 ( Numerical Simulation of Particle Deposition on a Wafer Surface )

명현국 ,  박은성

대한기계학회 논문집

1993 .09