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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
이정우 (동서대학교) 이병국 (동서대학교) 이준재 (계명대학교)
저널정보
한국멀티미디어학회 한국멀티미디어학회 학술발표논문집 2008년도 춘계학술발표논문집
발행연도
2008.5
수록면
260 - 263 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 장착 위치 인식 시스템
이정우 ,  이병국 ,  이준재 멀티미디어학회논문지 2010.03 학술저널

2008

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템
이정우 ,  이병국 ,  이준재 한국멀티미디어학회 학술발표논문집 2008.05 학술대회자료

초록· 키워드

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반도체 웨이퍼 제조공정의 세척과정에서 로봇이 웨이퍼를 세척기 안으로 이동 시키게 된다. r 그러나 가끔씩 정확한 위치에 웨이퍼가 장착되지 않고 약간의 위치 이동이 발생하여, 이를 그대로 수행할 경우, 웨이퍼의 파손 및 클리닝 시스템 고장을 일으키는 원인이 된다. 이를 미연에 방지 하기 위하여 본 논문에서는 카메라를 이용하여 영상을 획득하고 장착된 웨이퍼의 정확한 위치를 검출하는 시스템을 제안한다.

목차

요약
1. 서론
2. 시스템의 구성
3. 캘리브레이션
4. 캘리브레이션의 문제점과 해결방법
5. 정보 등록 및 실행 과정
6. 결론
[참고문헌]

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