REDISTRIBUTION OF ARSENIC DURING THERMAL OXIDATIONS OF ARSENIC IMPLANTED SILICON

Seong S. Choi ,  W. K. Chu ,  E. A. I 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

PARAMETRIC STUDY ON THE SHEET RESISTANCE OF THE ION IMPLANTED SILICON WAFERS AFTER RAPID THERMAL ANNEALING

Chi Hoon Jun ,  Youn Tae Kim ,  Young Soo Lee 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Control of diatom by preoxidation and coagulation in drinking water treatment

Jeong Mi Seo ,  Seoung Koo Ahn

대한환경공학회 학술발표논문집

2004 .12

Control of Diatom by Preoxidation and Coagulation in Water Treatment

Jeong Mi Seo ,  Dong Soo Kong ,  Seoung Koo Ahn 외 1명

Environmental Engineering Research

2006 .02

Ion Mass Doping 법을 이용한 Phosphorus 주입된 실리콘 박막의 Annealing 특성

강창용 ,  최덕균 ,  주승기

한국표면공학회지

1994 .08

Rapid Thermal Annealing for the Thermal Oxidation and the Activation of implanted Impurities

Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Ayukawa

대한전자공학회 세미나

1992 .01

Hydrogen and Alkali Ion Sensing Properties of Ion Implanted Silicon Nitride Thin Film

박구범

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2008 .01

MEMS 칩과 휴대형 전기화학적 신호 처리 시스템을 이용한 수중 비소이온 검출

조명옥 ,  전유진 ,  임시형

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

새로운 AnneaLing 방법

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

새로운 Annealing 방법 ( A New Annealing Method )

홍순관 ,  김철주 ,  박선우

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

The effect of electro-annealing on the electrical properties of ITO film on colorless polyimide substrate

Song ,  Jun-Cheol ,  Pa 외 9명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Use of XPS to evaluate selective oxidation during annealing process of steel sheets containing Si and Mn

Ji-Young Kim ,  Min suh Pa ,  k

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Vacuum-UV (185 nm) irradiation for the oxidation of arsenic(3)

윤성환 ,  이재훈

대한환경공학회 학술발표논문집

2006 .12

마이크로 웨이브를 이용한 이온의 활성화 방법에 관한 연구

김천홍 ,  유준석 ,  박철민 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

Modeling of Arsenic and BF2 Diffusion Under Rapid Thermal Annealing Ambient

Joon Sung Lee ,  Hwa Sik Pa ,  k 외 7명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Arsenic heavy ion damage 처리 후 이온 분포에 관한 연구

안병목 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

Arsenic heavy ion damage 처리 후 이온 분포에 관한 연구 ( A Study of Ion Distribution after as heavy ion damage treatments )

안병목 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

CO2 레이저 열처리에 따른 이온 주입된 다결정 실리콘 박막의 판막저항 변화에 관한 연구 ( A Study on the Sheet Resistance Variation in Ion Implanted Poly-Si Thin Flim by CO2 Laser Annealing )

박병황 ,  안철

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

CO2 레이저 열처리에 따른 이온 주입된 다결정 실리콘 박막의 판막저항 변화에 관한 연구

박병황 ,  안철

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07