Effects of preoxidation annealing of arsenic ion-implanted silicon upon electrical sheet resistance and oxidation rate

Seong S. Choi ,  W. K. Chu

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Rapid Thermal Annealing for the Thermal Oxidation and the Activation of implanted Impurities

Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Ayukawa

대한전자공학회 세미나

1992 .01

Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

B⁺ 및 BF₂⁺가 이은 주입된 실리콘 웨이피의 annealing 효과

권상직 ,  권오준 ,  정호선

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08

COMPUTER SIMULATION OF RAPID THERMAL ANNEALING OF THE SILICON OXIDE IN AMMONIA AMBIENT

H. Wong ,  Y. C. Cheng ,  P. T. Lai

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

불순물을 이온주입시킨 실리콘 기판위에 형성된 TaSi₂의 특성.

조현춘 ,  최진석 ,  김동원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

B+ 및 BF2+ 가 이온 주입된 실리콘 웨이퍼의 Annealing 효과 ( Annealing Effect ofr the B+- and BF2+- Implanted Silicon Wafers )

권상직 ,  권오준 ,  정호선

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Ion Mass Doping 법을 이용한 Phosphorus 주입된 실리콘 박막의 Annealing 특성

강창용 ,  최덕균 ,  주승기

한국표면공학회지

1994 .08

EFFECT OF RAPID THERMAL ANNEALING WHEN USED FOR ANNIHILATION OF THERMAL DONORS IN SILICON ON SUBSEQUENT OXYGEN PRECIPITATION

W. Mu ,  ay Bullis

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Hydrogen and Alkali Ion Sensing Properties of Ion Implanted Silicon Nitride Thin Film

박구범

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2008 .01

Bipolar Silicon Wafer Processing

최성현

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

Improved Rs Monitoring for Robust Process Control of High Energy Well Implants

Kim ,  J.H. ,  Kim 외 7명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Rapid thermal Annealing에 의한 300mm Polished 및 Epitaxial 실리콘 웨이퍼의 슬립 형성

박기훈 ,  이곤섭 ,  박재근 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

METAL-INDUCED LATERAL CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON FILMS ON GLASS USING RAPID THERMAL ANNEALING

Kim ,  Tae-Kyung ,  Lee 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

실리콘 웨이퍼의 면저항 국제 비교

강전홍 ,  유광민 ,  이상화

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .11