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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1992.6
- 수록면
- 489 - 495 (7page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (5)
1992
Downstream 유도형 반응기의 제작 및 CF4 / O2 플라즈마를 이용한 a-Si : H의 식각 ( Fabrication of Downstream Inductively Coupled Reactor and Etching of a-Si : H Using CF4 / O2 Plasma )
박상준
,
강석진
,
최시영
대한전자공학회 학술대회
1992.07
학술대회자료
a-Si : H / a-SiN : H 초격자 구조를 이용한 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of Thin Film Transistors with a-Si : H / a-SiN : H Superlattices )
박상준
,
최시영
대한전자공학회 학술대회
1992.07
학술대회자료
Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF4/O2 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각
박상준
,
강석진
,
최시영
대한전자공학회 학술대회
1992.06
학술대회자료
a-Si:H/a-SiN:H 超格子 構造를 이용한 박막트랜지스터의 製造
박상준
,
최시영
대한전자공학회 학술대회
1992.06
학술대회자료
a-Si:H/a-SiN:H 초격자구조의 제작 및 특성 ( Fabrication of a-Si:H/a-SiN:H Superlattices and Its Properties )
박상준
,
최시영
전자공학회논문지-A
1992.06
학술저널
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1998 .01
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2005 .01
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1997 .01
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2000 .11
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대한전자공학회 학술대회
1987 .11
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Superlattice에서의 전도특성연구 ( Transport properties in superlattices )
전자공학회논문지-A
1996 .01
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폴리머
1990 .02
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