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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1992.6
- 수록면
- 313 - 316 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (5)
1992
Downstream 유도형 반응기의 제작 및 CF4 / O2 플라즈마를 이용한 a-Si : H의 식각 ( Fabrication of Downstream Inductively Coupled Reactor and Etching of a-Si : H Using CF4 / O2 Plasma )
박상준
,
강석진
,
최시영
대한전자공학회 학술대회
1992.07
학술대회자료
a-Si : H / a-SiN : H 초격자 구조를 이용한 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of Thin Film Transistors with a-Si : H / a-SiN : H Superlattices )
박상준
,
최시영
대한전자공학회 학술대회
1992.07
학술대회자료
Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF4/O2 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각
박상준
,
강석진
,
최시영
대한전자공학회 학술대회
1992.06
학술대회자료
a-Si:H/a-SiN:H 超格子 構造를 이용한 박막트랜지스터의 製造
박상준
,
최시영
대한전자공학회 학술대회
1992.06
학술대회자료
a-Si:H/a-SiN:H 초격자구조의 제작 및 특성 ( Fabrication of a-Si:H/a-SiN:H Superlattices and Its Properties )
박상준
,
최시영
전자공학회논문지-A
1992.06
학술저널
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목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 및 측정
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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대한전자공학회 학술대회
1992 .07
-
a-Si:H/a-SiN:H 초격자구조의 제작 및 특성 ( Fabrication of a-Si:H/a-SiN:H Superlattices and Its Properties )
전자공학회논문지-A
1992 .06
-
SiN 박막을 이용한 Si Nanodot의 형성
공업화학
2005 .01
-
Micro Gas Sensor의 Membrane용 $SiN_x$막과 $SiN_x/SiO_x/SiN_x$막의 응력과 굴절율
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
-
a-Si : H/a-SiN : H 구조 MODFET의 조성 및 그 특성 ( Fabrication of MODFET with a-Si : H/a-SiN : H Structure and Its Characteristics )
전자공학회논문지-A
1993 .06
-
Silicide-Enhanced Rapid Thermal Annealing을 이용한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터에의 응용
한국재료학회지
2014 .01
-
Laser CVD SiN막에 의한 SiN-Si계 TFD 특성의 DLTS에 의한 해석
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
-
자연 산화막과 엑시머 레이저를 이용한 poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전기학회논문지 C
2000 .01
-
PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )
전자공학회논문지-A
1996 .05
-
이중 금속 측면 결정화를 이용한 400。C 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작 및 그 특성에 관한 연구 ( Fabrication and characteristics of poly - Si thin film transistors by double - metal induced lateral crystallization at 400˚C )
전자공학회논문지-D
1997 .04
-
비정질 실리콘 박막트랜지스터 캐패시턴스 특성의 수학적 모델분석
전기학회논문지
1993 .06
-
선택적 결정화를 통한 채널에 비정질 영역을 갖는 새로운 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전기학회논문지
1997 .11
-
박막트랜지스터를 이용한 Inverter 제작 ( The Fabrication of Inverter with thin Film Transistor )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
-
Low voltage stability of a-Si:H TFTs with $SiN_x$ dielectric films prepared by PECVD using Taguchi methods
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2005 .01
-
Micro Gas Sensor의 Membrane용 ${SiN}_{x}$막과 ${SiN}_{x}/\textrm{SiO}_{x}/{SiN}_{x}$막의 응력과 굴절율
한국재료학회지
1997 .01
-
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
-
鋼纖維補强콘크리트의 力學的 特性 및 製造에 관한 研究
대한토목학회 학술발표회 개요집
1985 .10
-
Hot-pressing을 통한 Si-Zn-O 박막 트랜지스터의 소자 특성 향상
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .10
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Importance of Gate $SiN_x$ Properties Related to a-Si:H TFT Instability
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
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