소자분리를 위한 선택적 실리콘 에피택시 ( Selective Si Epitaxy for Device Isolation )

양전욱 ,  조경익 ,  박신종

전자공학회논문지

1986 .11

MBE에 의한 Ge epitaxial layer 성장

임재영 ,  이철로 ,  노삼규 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

플라즈마 에칭 후 게이트 산화막의 파괴

최영식

한국정보통신학회논문지

2002 .02

선택적 액상 에피택시에 의한 집적광학용 수동소자

김상배 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1986 .12

선택적 액상 에피택시에 의한 집적 광학용 수동소자 ( Integrated Optical Passive Devices Fabricated by Selective Liquid Phase Epitaxy )

김상배 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

실리콘 Selective Epitaxial Growth에서 Facet과 결정 결함 및 전기적 특성

신유균 ,  배대록 ,  한민석 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

선택적 단결정 실리콘 성장의 고집적 소자 적용 기술

정우석

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

폴리실리콘 슬러지의 치환율에 따른 모르타르의 강도특성

임정근 ,  이상수 ,  송하영

대한건축학회 학술발표대회 논문집

2014 .04

The Effects of Image Charge in the Etching of Gate Polysilicon

신화숙 ,  지경구 ,  정찬욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Selective Silicon Epitaxy에 대한 연구 ( Study on the Selective Silicon Epitaxy )

조경익 ,  송성해

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

폴리실리콘 슬러지를 활용한 2성분계 무기복합재의 역학특성

문지환 ,  송하영 ,  이상수

대한건축학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

Generation of a Pulse Plasma and its Application to Polysilicon Etching

정찬욱 ,  K. K. Chi ,  Y. B. Koh 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

비소화 갈륨 (GaAs)의 선택적 액상 에피택시 : 성장기구 및 형태

김상배 ,  권영세

대한전기학회 학술대회 논문집

1986 .07

An Accelerometer with Polysilicon Piezoresistors Bulk-Micromachined Using a p+ Silicon Etch-Stop Layer

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1996 .10

폴리실리콘 슬러지를 활용한 무시멘트 경화체의 강도특성

임정근 ,  류영석 ,  이상수

대한건축학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

MBE에 의한 GaAs 에피택셜층 성장 ( GaAs Epitaxial Layer Growth by Molecular Beam Epitaxy )

정학기 ,  이재진 ,  정관수 외 2명

전자공학회지

1985 .11

실리콘 선택적 기상 성장을 이용한 마이크로 센서에 응용되는 구조물 제조법

박정호 ,  김종관 ,  김상영 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

MBE장치에 의한 에피 성장 두께 균일도 계산 ( Calculations of Thickness Uniformity in Molecular Beam Epitaxial Growth )

윤경식 ,  김은규 ,  민석기

전자공학회논문지-A

1993 .08

저온 Si 에피택시 박막의 결정화 거동 및 미세구조에 대한 연구

김동현 ,  최규진 ,  남승의 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01