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( 111 ) 기판의 실리콘 단결정층 성장시 발생하는 패턴 이동 현상의 분석 ( An Analysis of Pattern Shift in the Epitaxial Growth of Silicon on ( 111 ) Substrates )
전자공학회지
1984 .07
실리콘 선택적 기상 성장을 이용한 마이크로 센서에 응용되는 구조물 제조법
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
실리콘 Selective Epitaxial Growth에서 Facet과 결정 결함 및 전기적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD
[ETRI] ETRI Journal
2003 .12
RECENT ADVANCES IN SILICON EPITAXIAL GROWTH FOR ADVANCED DEVICE STRUCTURES
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
Silicon Selective Epitaxial Growth를 이용한 Elevated Source/Drain의 높이가 MOSFET의 전류-전압 특성에 미치는 영향 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
실리콘 선택적 결정 성장 공정을 이용한 Elevated Source/drain을 갖는 NMOSFETs 소자의 특성 연구
전기학회논문지 C
2002 .03
EFFECT OF THE ROUGHNESS OF SUBSTRATE SURFACE ON LOW-TEMPERATURE SILICON EPITAXIAL GROWTH
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Magnetic field effect analysis on a single silicon crystal system
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .07
단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
단결정 실리콘의 이방성 식각특성
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
실리콘 3차원구조 소자를 위한 기반기술 연구 ( Fundamental Study on Technology for 3D Structured Device )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
실리콘 3차원구조 소자를 위한 기반기술 연구 ( Fundamental Study on Technology for 3D Structured Device )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
단결정 실리콘의 3차원 미세패턴 가공 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1996 .06
단결정 성장에서의 전달현상
대한기계학회지
1990 .03
전계 방출 소자용으로 제조한 단결정 실리콘 기판에 증착된 실리콘 질화막에 대한 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
Dynamic Heat-Flow Characteristics in Czochralski silicon-Ingot Growth by Numerical Simulation
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .11
선택적 에피택시를 위한 에피택셜층 및 폴리실리콘의 성장과 에칭 ( Growth and Etching of Epitaxial Layer and Polysilicon for the Selective Epitaxy )
전자공학회지
1985 .01
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