저압 CVD에 의한 Si0.8 Ge0.2 막의 Epitaxial Growth ( Epitaxial Growth of Si0.8 Ge0.2 Layer by LPCVD )

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2막의 Epitaxial Growth

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Metal Epitaxial Layer by MBE

Kang ,  T.W.

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

MBE에 의한 GaAs 에피택셜층 성장 ( GaAs Epitaxial Layer Growth by Molecular Beam Epitaxy )

정학기 ,  이재진 ,  정관수 외 2명

전자공학회지

1985 .11

축적된 Ge층이 Si₁-ₓGeₓ/Si의 산화막 성장에 미치는 영향

신창호 ,  강대석 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

고농도 Ge fraction을 갖는 Si₁ₓ-Geₓ막의 Epitaxial Growth에 대한 In-Situ Phosphorus Doping 효과

이철진 ,  박정훈 ,  김성진

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

플라즈마를 이용한 Si 기판위에 Ge 결정성장 ( Plasma-assisted epitaxial growth of Ge layer on Si ( 100 ) in H2 Plasma )

박명기 ,  박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

IN-SITU PHOSPHORUS HEAVY DOPING ON $Si_{1-x}Ge_x$ EPITAXIAL GROWTH WITH HIGH Ge FRACTION BY USING LPCVD

Lee ,  C.J. ,  Matsuu 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Si_1-xGe_x/Si에피택셜층의 건식산화동안 Ge 재분포

신창호 ,  김태형 ,  김재범 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

MBE에 의한 GaAs 에피택셜 성장 ( 2 ) ( GaAs Epitaxial Layer Growth by MBE ( 2 ) )

강태원 ,  이재진 ,  김영함 외 2명

전자공학회논문지

1986 .05

MBE 방법으로 증착된 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 응력완화

임정욱 ,  강상원 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

성장 온도에 따른 GaAsP/GaP Epitaxial Layer의 특성

이은철 ,  라용춘 ,  엄문종 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과

이철진 ,  엄문종 ,  성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

MBE장치에 의한 에피 성장 두께 균일도 계산 ( Calculations of Thickness Uniformity in Molecular Beam Epitaxial Growth )

윤경식 ,  김은규 ,  민석기

전자공학회논문지-A

1993 .08

Low-temperature epitaxial Ge layer growth on Si(100) substrate

신건욱 ,  김현우 ,  윤의준

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 Epitaxial Growth에 대한 In-situ Phosphorus Doping 효과

李鐵眞

전기학회논문지

1998 .12

MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH OF SHORT PERIOD SUPERLATTICE

Jong Chun Woo

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

MBE에 의한 GaAs 에피층 성장을 위한 사전처리 과정 ( Preprocess of GaAs Epitaxial Layer Growth by MBE )

강태원 ,  이재진 ,  홍치유 외 2명

전자공학회논문지

1986 .03

SOLID STATE TEACTIONS IN THE $Co/Si_{1-X}Ge_X$ SYSTEM

Lin ,  Wen-Tai ,  Chen 외 3명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01