유도결합 플라즈마 스퍼터링을 이용한 Al이 도핑된 ZnO 박막의 저온 증착

정승재 ,  구범모 ,  한영훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

유도결합 플라즈마 스퍼터링을 이용한 플라스틱 기판 상의 Al이 도핑된 ZnO 박막 증착

정승재 ,  한영훈 ,  이정중

한국표면공학회지

2006 .06

연성 기판상에 증착한 Al 도핑된 Zno 박막의 특성

조범진 ,  금민종 ,  김경환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Influence of substrate temperature on the properties of Al doped ZnO(ZnO:Al) thin films deposited by direct current magnetron sputtering

Koo ,  Hong-Mo ,  Bang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

Al-doped ZnO 박막의 기판 온도에 따른 전기적, 광학적 특성

金俸奭 ,  金應權 ,  李揆一 외 2명

전기학회논문지

2007 .10

플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과

이재형

전기전자재료학회논문지

2009 .01

태양전지 응용을 위한 PC 기판상의 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구

나영일 ,  이재형 ,  임동건 외 1명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

가스압 변화에 따라 flexible 기판상에 제작한 Al이 첨가된 ZnO 박막의 특성

김경환 ,  조범진 ,  금민종

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

증착 압력에 따른 ZnO:Al 박막의 특성

김성연 ,  신범기 ,  김두수 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

표면 텍스쳐된 Al doped ZnO 박막의 기판 온도에 따른 전기적, 광학적 특성

이용욱 ,  강동원 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

N-doped ZnO 박막의 미세 구조 특성

이은주 ,  Rui ,  ui Zhang 외 2명

한국정보통신학회논문지

2009 .11

The low temperature process design for Al doped ZnO film synthesis on polymer

Chang S. Moon ,  Yun M. Chung ,  Woo S. Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

V-I Curves of p-ZnO:Al/n-ZnO:Al Junction Fabricated by RF Magnetron Sputtering

Hu-Jie Jin ,  Yun-Hwan Jeong ,  Choon-Bae Pa 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성

마대영 ,  박기철

전기전자학회논문지

2020 .06

Polyimide 기판을 이용한 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구

이동진 ,  이재형 ,  주정훈 외 4명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

ZnO : Al , In 박막의 구조적 및 전기적 특성 ( Structural and Electrical Properties of ZnO : Al , In Thin Film )

박경일 ,  서무룡 ,  홍범표 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

인라인 스퍼터를 이용한 알루미늄 도핑된 산화아연 박막의 증착 및 특성 최적화 연구

강동원

전기학회논문지

2017 .08

유도결합형 플라즈마를 사용한 반응성 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 증착 및 특성분석

김동선

반도체디스플레이기술학회지

2011 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering

Kook ,  Hong-Mo ,  Kim 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01