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전력전자학회 전력전자학회 학술대회 논문집 전력전자학회 2002년 학술대회논문집
발행연도
2002.7
수록면
245 - 248 (4page)

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In this paper, the development of the RF power supply for Remote Plasma System is discussed 7k W, 400kHz Remote Plasma Generator is designed and tested.
The main power stage is used for the HE PWM inverter W1th an LC filter m the secondary circuit The operation characteristics of Remote Plasma Generator are verified by simulation and experimental results.

목차

ABSTRACT

1.서론

2.리모트 플라즈마 시스템

3.모의실험 및 실험 결과

4.결론

참고문헌

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