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이용수
1.서론
2.MEMS 패키징 공정
3.전자 패키징 공정
4.요약
저자소개
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MEMS and Packaging
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2009 .03
MEMS Display 기술동향
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나노/MEMS 센서의 최신 기술개발 동향
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .05
정보통신 광 MEMS 기술의 동향분석
[ETRI] 전자통신동향분석
2001 .08
MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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