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LPCVD로 성장된 텅스텐 게이트의 물리ㆍ전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
스파터링(Sputtering)법으로 증착된 텅스텐(W) 게이트(Gate) 금속의 열처리 전후 영향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
LPCVD 조건하에서 SiH₄에 의한 WF6환원반응으로부터의 텅스텐 박막 증착 메커니즘에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
텅스텐 폴리사이드 게이트 구조에서의 열처리 효과
Applied Science and Convergence Technology
1992 .10
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착
Applied Science and Convergence Technology
1992 .06
증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
: LPCVD 실리콘 박막의 저온 열처리에 따른 결정화 거동에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
LPCVD 공정시간에 따른 silicon 의 결정화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
나노급 N-type 폴리실리콘게이트의 니켈실리사이드 공정에 따른 안정화 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
LPCVD법으로 증착된 비정질 실리콘박막의 고상결정화에 미치는 자기이온주입효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
TiN 위에 텅스텐의 저압화학증착
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
텅스텐 폴리사이드막의 열산화에서 인 불순물 효과
Applied Science and Convergence Technology
1995 .09
증착조건에 따른 ZrO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Co₁-x - Tax / Si 시스템에서의 실리사이드 형성 반응 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Microstructure and Electrical Properties of LPCVD Polysilicon
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
상온 증착된 ITO 박막의 열처리 조건에 따른 물리적 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
Monte Carlo 법을 이용한 저압화학증착 공정에서의 미세박막 증착패턴에 관한 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
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