ICBD 방법에 의한 Si(100) 기판위 Cu 박막제작에 Ionization potential 이 미치는 영향

김기환 ,  윤영수 ,  최두진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구

백민 ,  김경현 ,  최규석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

ICBD 법에 의한 Y₂O₃ 박막특성에 관한 연구

전정식 ,  문종 ,  이상인 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

Properties of Copper Film on Si(100) and Si(111) Substrate by Ionized Cluster Beam Deposition (ICBD)

Sung Han ,  Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Inverse Magnetoresistance in the Simple Spin Valve System Fe_1-xCr_x/Cu/Co

Ngoc Anh T. Nguyen ,  Hoang Yen T. Nguyen ,  H. Yil 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Synthesis, Structural Details and Induction of Superconductivity in Ga_1-xPb_xSr₂Y_1-yCa_yCU₂O₇ (x＝0.0 to 0.6 & y＝0.0 to 0.5)

Shiva Kuma ,  Anuj Kuma ,  V.P.S. Awana 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

ULSI용 Electroplating Cu 박막의 미세조직 연구

박윤창 ,  송세안 ,  윤중림 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .09

RDS를 의한 Cu(110)와 산소가 흡착된 Cu(110) 표면에 Cu의 성장 모드

김상현 ,  L. D. Sun

Applied Science and Convergence Technology

2006 .01

Co - Cu 합금 및 Co / Cu 다층박막의 구조, 자기적성질 및 자기저항현상에 관한 연구

오용주 ,  김용혁 ,  이성래

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1993 .05

Cu 함량 변화에 따른 Mo-N-Cu 박막의 특성 및 내마모 특성 평가

최민기 ,  조성우 ,  권정대 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

XPS를 이용한 Cu / Polyimide 계면에 관한 연구 : 상온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(I)

이연승 ,  황정남

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08

Co / Cu / NiFe / Cu 다층박막의 자기저항 효과

정진봉 ,  김선옥 ,  황의상 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1994 .10

Self-forming Barrier Process Using Cu Alloy for Cu Interconnect

문대용 ,  한동석 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Cu 박막의 특성개선을 위한 플라즈마를 이용한 H₂ 전처리 효과

이종현 ,  이정환 ,  최시영

Applied Science and Convergence Technology

1999 .08

Self-formation of Diffusion Barrier at the Interface between Cu-V Alloy and SiO₂

문대용 ,  박재형 ,  한동석 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Si (111)표면에서 Cu의 확산

이경민 ,  김창민

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

C - V 측정에 의한 Cu 확산방지막 특성 평가

이승윤 ,  라사균 ,  이원준 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .12

PE - MOCVD로 증착된 Hf(C,N)박막의 Cu에 대한 확산 방지 특성

노우철 ,  조용기 ,  김영석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Cu / Ni / Cu 단결정 박막에서의 자기 탄성 계수

송오성 ,  R. C. O′Handley

한국자기학회지

1995 .04