ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구

백민 ,  김경현 ,  최규석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Cu film growth on Si substrate by combining plasma enhanced chemical vapor deposition with partially ionized beam deposition

K. H. Kim ,  S. C. Choi ,  D. J. Choi 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

ICBD 방법에 의한 Si(100) 기판위 Cu 박막제작에 Ionization potential 이 미치는 영향

김기환 ,  윤영수 ,  최두진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Nano - structure of Si₃N₄ on Si(001) using ionized N₂ gas

정민철 ,  한문섭 ,  유병덕 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Substrate temperature dependence of crystalline Y₂O₃ films grown by Ionized Cluster Beam Deposition

M.H.Cho ,  S.W.Whangbo ,  J.G.Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Deposition of Cu thin films on glass substrate by Ionized Cluster Beam deposition for laser mirror at room temperature

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Structural property of Cu thin films grown by Ionized cluster beam deposition

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

ICBD 방법에 있어서 가속전압이 Cu 박막의 확산거동에 미치는 영향

김기환 ,  최두진 ,  윤영수 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

ICBD 법에 의한 Y₂O₃ 박막특성에 관한 연구

전정식 ,  문종 ,  이상인 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

A first principles study on magnetism of Fe3Si on Si(001) and Si(111) substrates

Do ,  j Odkhuu ,  Won Seok Yun 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

이온 클러스터빔에의한 구리박막제작

Won-Kook Choi ,  Ki-Han Kim ,  Young-Soo Yoon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Chemical Vapor Deposition of Ga₂O₃ Thin Films on Si Substrates

Doo Hyun Kim ,  Seung Ho Yoo ,  Ki-Seok An 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Ionized Cluster Beam Deposition 방법을 이용한 Polyimide 박막의 제작 및 특성

김기원 ,  최성창 ,  노효상 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Acceleration energy dependence of epitaxial Y₂O₃ film grown by ionized cluster beam deposition

M. H. Cho ,  Y. G. Choi ,  S. W. Whangbo 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Electrical property of Copper Film by PIBD(Partially Ionized Beam Deposition)

Sung Han ,  Ki Hyun Yoon ,  Ki-Hwan Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Cu films on Polyimide deposited by an Ionized Cluster Beam

Won-Kook Choi ,  Ki-Hwan Kim ,  Hyung-Jin Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06