The Effect of Plasma Power on the Composition and Microhardness of α - SiC : H Films Grown by PECVD

Young Kuk Lee ,  Yunsoo Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Annealing Effect on the Magnetic Properties for Co-based Amorphous Alloys

Sumin Kim ,  Haein Choi-Yim

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .11

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Magnetic annealing effect of Fe-based amorphous ribbon

Sumin Kim ,  Haein Choi-Yim

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2015 .11

Effect of Post-Oxidation Annealing on High-Temperature Grown $SiO_2/4H-SiC$ Interface

Moon ,  Jeong-Hyun ,  Song 외 13명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Rapid thermal annealing effect on magnetic property of thin-films consisting of amorphous CoSiB

Sol Jung ,  Haein Yim

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .05

The Effect of Annealing on Magnetic Properties of Co-based Amorphous Alloy Ribbons

Sumin Kim ,  Haein Choi-Yim

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2017 .05

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties

배인섭 ,  조상진 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

정재욱 ,  추성중 ,  박정호

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Thermal-assisted Photo-annealing in Ambient Air for Amorphous TiO₂ Film-based Perovskite Solar Cells

Minho Lee ,  Yeonghun Yun ,  Yonghan Yun 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber

이철 ,  황혜주 ,  박상호 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

A Study on Blister Formation and Electrical Characteristics with Varied Annealing Condition of P-doped Amorphous Silicon

최성진 ,  김가현 ,  강민구 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Change the Properties of Amorphous Carbon Hardmask Film Prepared with the Variation of Process Parameters in Plasma Enhanced Chemical Vapor Depostion Systems

Seok Hwan Kim ,  Sanghak Yeo ,  Jaeyoung Yang 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Study in Mechanism of Hydrogen Retention by C - SiC Films with IR

N. K. Huang ,  Q. Xiong ,  V. G. Liu 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2002 .06

PECVD BPSG Film 형성 및 Flow 특성

심승술 ,  임국진

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07