DC reactive sputtering 방식으로 Ti 버퍼층 위에 형성 시킨 TiN 박막의 특성 변화에 관한 연구

송영식 ,  최은석 ,  김상권 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

금속원소 도핑에 따른 초고경도 나노구조 TiN 박막의 합성 및 형성 거동에 관한 연구

명현식 ,  한전건

Applied Science and Convergence Technology

2003 .09

TiN 박막의 N₂ / Ar 비율 및 열처리 조건에 따른 W - TiN 복층 게이트의 특성 분석

윤선필 ,  노관종 ,  양성우 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석

윤선필 ,  노관종 ,  양성우 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

솔 - 젤법을 이용한 Pb(Zr, Ti)O₃ 박막의 성장 및 특성에 관한 연구

김봉주 ,  이재찬 ,  유지범

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

아크로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

장승현 ,  양지훈 ,  박혜선 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Al 박막의 underlayer로서의 Ionized Physical Vapor Deposition (I - PVD) Ti 또는 I - PVD Ti / Metal - Organic Chemical Vapor Deposition TiN

이원준 ,  나사균

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12

PVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 공정개발

최치규 ,  강민성 ,  박형호 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08

TiN박막형성에 미치는 ion beam조사효과

안정식 ,  조남제 ,  장문식 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성

박형국 ,  권오진 ,  문종호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

High-performance type-converted WSe₂/h-BN photodetector enhanced by triphenylphosphine (PPh₃)-based n-type doping

Seo-Hyeon JO ,  Jin-Hong PARK

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

질소 이온빔이 TiN 박막의 형성에 미치는 영향

권오진 ,  박형국 ,  문종호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

이온빔을 이용한 TiN 박막 합성 및 내마모특성에 관한 연구

윤주선 ,  한전건 ,  한승희

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Cation redistribution of piezoelectric ferromagnetic Ga_0.6Fe_1.4O₃ (010) films by Co-doping

김재영 ,  김동환 ,  오설희 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .11

ALD법으로 증착한 TiN막의 특성

김재범 ,  홍현석 ,  오기영 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .09

스퍼터링 증착변수에 따른 SKD 61강 기판상 TiN 박막의 증착거동 변화

김상섭 ,  임태홍 ,  박용범

Applied Science and Convergence Technology

1998 .11

Al(111) 표면 위에 성장시킨 Ag 초박막의 성장 구조

김상현 ,  박종윤 ,  서지근 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

경사 코팅법으로 제조된 TiN 다층 박막의 특성

송민아 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화

이기홍 ,  조만호 ,  이덕형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02