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논문 기본 정보

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한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 태양에너지 제16권 제2호
발행연도
1996.6
수록면
87 - 96 (10page)

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아르곤-산소분위기에서 텅스텐산화물 표적을 사용한 rf 마그네트론 스파타링 방법으로 전기적 착색 텅스텐산화물 박막이 ITO가 피복된 유리기판 위에 제작되었다. 사파타링에 의한 제작 조건중 특히 기판온도가 막으 화학적 안정성에 미치는 영향이 연구되었다. 박막은 리듐퍼코로라이트와 황산 전해질 속에서 전기화학적으로 이온의 주입과 추출 과정이 반복되었으며 또한 착색성을 나타내었다. 착색성을 나타낸 텅스텐 산화물박막들 중에서 기판 온도가 150℃에서 제작된 막의 내구성이 가장 안정되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 괄과 및 논의

4. 결론

후기

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