공기부상형 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 노즐에 따른 특성 평가

문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2004 .06

공기 부상바식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가

문인호 ,  김동권 ,  조상준 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2005 .05

공기 부상방식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가

문인호 ,  황영규

대한기계학회 논문집 B권

2006 .04

공기부상방식 반도체 웨이퍼 이송시스템의 추진력계수

문인호 ,  황영규

설비공학논문집

2004 .09

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

공기부상 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 및 이송특성

문인호 ,  조상준 ,  김동권 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

자기부상 물류이송시스템 설계에 관한 연구

최대규 ,  조재훈 ,  김용태

한국지능시스템학회 논문지

2014 .04

주문형 반도체 웨이퍼 공정분석을 위한 시뮬레이션 연구

김기영 ,  이정호 ,  강창호 외 1명

산업공학 (IE interfaces)

2005 .03

공기부상방식의 반도체 웨이퍼 반송특성에 관한 연구

문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2002 .06

자기부상이송시스템의 부상제어기 설계에 관한 연구

최대규 ,  김용태

한국지능시스템학회 학술발표 논문집

2015 .04

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01

물류이송을 위한 자기부상 제어시스템의 설계

최대규 ,  조재훈 ,  김용태

한국지능시스템학회 학술발표 논문집

2014 .04

자기부상 물류이송시스템의 부상 및 추진제어기 설계

최대규 ,  김용태

한국지능시스템학회 논문지

2017 .04

자기부상 시스템의 부상제어기 설계

金鍾文 ,  姜道鉉 ,  朴民國 외 1명

전기학회논문지 D

2003 .06

자기 부상을 이용한 실리콘 웨이퍼 반송 시스템

안길영 ,  박기환 ,  김수현 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10

초고속 자기부상열차 부상시스템 제어특성 분석

채주병 ,  하창완 ,  김창현 외 3명

한국철도학회 학술발표대회논문집

2015 .10

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

반도체 공정에서의 웨이퍼 불량 유형 분류 시뮬레이션

하얀 ,  한영신

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

2004 .12

전산유체 해석을 이용한 비접촉식 웨이퍼 핸드의 연구

김병삼 ,  박경우 ,  송연민

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

전산유체 해석을 이용한 비접촉식 웨이퍼 핸드의 연구

김병삼 ,  박경우 ,  송연민

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05