마이크로 열소자 제작을 위한 고세장비 금속채널의 레이저 가공

오광환; 이민규; 정성호

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 오광환 이민규 정성호

저널정보: 한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제17권 제5호

발행연도: 2006.10

수록면: 437 - 446 (10page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (4)

2006

마이크로 열소자 제작을 위한 고세장비 금속채널의 레이저 가공

오광환 , 이민규 , 정성호 한국광학회지 2006.10 학술저널

레이저유도 에칭을 이용한 고세장비 마이크로채널 가공 및 응용

오광환 , 이민규 , 김수근 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

고세장비 미세홈 가공 및 마이크로 히트파이프에의 응용

오광환 , 이민규 , 정성호 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2006.01 학술대회자료

2005

레이저유도 습식에칭에 의한 고세장비 마이크로채널 제조

오광환 , 이민규 , 정성호 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2005.01 학술대회자료

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

본 연구에서는 레이저유도 에칭기술을 이용한 스테인레스강의 고세장비 미세채널 제조에 대하여 기술한다. 공정 변수 최적화와 반복에칭을 통하여 높은 세장비를 갖는 미세채널을 제조하였으며 제조된 미세채널은 레이저출력과 에칭용액의 농도를 적절하게 조절함으로써 U 형상과 V 형상 사이의 단면 구조를 가지며 열변형이 없는 우수한 표면 형상을 보였다. 채널과 채널 사이의 간격은 150㎛ 또는 그 이하이며 15 ~ 50 ㎛ 범위의 폭을 갖는 10 이상의 고세장비 미세채널이 제조되었다. 레이저출력, 레이저초점의 이송속도, 에칭용액의 농도 등의 공정 변수들이 제조된 채널의 폭, 깊이 그리고 단면 형상에 미치는 영향에 대하여 자세히 보고한다.

#Laser-assisted etching #Laser micromachining #Microchannel #Micro heat pipe #Microthermal device

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

오광환

소속기관

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 2 이용수 85

이민규

소속기관

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 97

정성호

소속기관

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 52

이 논문과 함께 이용한 논문

레이저 마스킹을 이용한 원통형상의 미세 전해에칭

조철희 , 신홍식 , 주종남 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .05

피코초 레이저를 이용한 초소수성 표면 제작에 관한 연구

조일환 , 이제훈 , 노지환 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2012 .02

EWT 태양전지 제작을 위한 레이저 미세 관통홀 가공 기술

이홍구 , 서세영 , 현덕환 외 5명 한국태양에너지학회 논문집 2011 .08

레이저 가공과 전해 에칭을 이용한 미세 핀 배열의 가공 및 응용

이세원 , 신홍식 , 김한 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .06

전자소자용 인쇄를 제작을 위한 레이저 미세 패터닝 소프트웨어 개발

석준홍 , 이동현 , 이주장 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .06

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : G300-j12256285.v17n5p437

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (4)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)