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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.16 No.6
발행연도
2007.12
수록면
153 - 158 (6page)

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2006

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정현우 ,  박만진 ,  박근 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료

초록· 키워드

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The present study covers numerical analysis of a thermionic scanning electron microscope(SEM) column. The SEM column contains an electron optical system in which electrons are emitted and moved to form a focused beam, and this generates secondary electrons from the specimen surfaces, eventually making an image. The electron optical system mainly consists of a thermionic electron gun as the beam source, the lens system, the electron control unit, and the vacuum unit. For a systematic design of the electron optical system, the beam trajectories are investigated through numerical analyses by tracing the ray path of the electron beams, and the quality of resulting image is evaluated from the analysis results.
#Scanning Electron Microscope #Thermionic Emission #Electro-Magnetic Lens #Numerical Analysis #Ray Tracing

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 전자광학계의 전자기장 해석
4. 전자빔의 결상 특성 해석
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (9)

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1. [단행본] - Lee, R. E. / 1993 / Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis / Prentice Hall google schola 2. [단행본] - Reimer, L. / 1998 / Scanning Electron Microscopy –Physics of Image Formation and Microanalysis / Springer-Berlin google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Juma, S. M. / 1978 / Miniature rotation-free magnetic electron lenses for the electron microscope / J. Phys. E: Sci. Instrum. 11 : 759 ~ 764 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Zhu, X. / 1989 / A computer program for electron gun design using second-order finite elements / J. Vac. Sci. Technol. B 7 : 1862 ~ 1869 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 박근 / 2006 / 전계방출 주사전자 현미경의 전자광학계 유한요소해석 / 대한기계학회논문집 A 30 (12) : 1557 ~ 1563 dbpia

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