레이저 유도에칭을 이용한 티타늄 미세채널 제조

손승우; 이민규; 정성호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 손승우 이민규 정성호

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2004.10

수록면: 26 - 30 (5page)

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Characteristics of laser-assisted wet etching of titanium in phosphoric acid were investigated to examine the feasibility of this method for fabrication of high aspect ratio microchannels. Laser power, number of scans, etchant concentration, position of beam waist and scanning speed were taken into consideration as the major process parameters exerting the temperature distribution and the cross sectional profile of etched channels. Experimental results indicated that laser power influences on both etch width and depth while number of scans and scanning speed mainly affect on the etch depth. At a low etchant concentration, the cross sectional profile of an etched channel becomes a U-shape but it gradually turns into a V-shape as the concentration increases. On the other hand, surface of the laser beam focus with respect to the sample surface is found to be a key factor determining the bubble dynamics and thus the process stability. It is demonstrated that metallic microchannels with different cross sectional profiles can be fabricated by properly controlling the process parameters. Microchannels of aspect ratio up to 8 with the width and depth ranges of 8~32 ㎛ and 50~300 ㎛, respectively, were fabricated.

#Laser-induced wet etching(레이저 유도 습식에칭) #Micromachining(미세가공) #Microfabrication(미세제조) #Laser etching(레이저 식각) #Titanium(티타늄)

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이민규

소속기관 두원공조

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

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정성호

소속기관 한국기계연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10% 의약학 > 임상의학 > 정신과학

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