Organic Acid-Based Wet Chemical Etching of Amorphous Ga-Doped Zinc Oxide Films on Glass and PET substrates

Lee, Dong-Kyoon; Lee, Seung-Jung; Bang, Jung-Sik; Park, Mun-Gi; Yang, Hee-Sun

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저자정보: Lee, Dong-Kyoon (Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik University) Lee, Seung-Jung (LG Research Park, LG Chem. Ltd.) Bang, Jung-Sik (LG Research Park, LG Chem. Ltd.) Park, Mun-Gi (LG Display. Ltd.) Yang, Hee-Sun (Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display

발행연도: 2009.1

수록면: 1,408 - 1,411 (4page)

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2009

Organic Acid-Based Wet Chemical Etching of Amorphous Ga-Doped Zinc Oxide Films on Glass and PET substrates

Lee , Dong-Kyoon , Lee 외 8명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2009.01 학술대회자료

2008

Wet Etching Behaviors of Transparent Conducting Ga-Doped Zinc Oxide Thin Film by Organic Acid Solutions

Lee , Dong-Kyoon , Lee 외 5명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2008.01 학술대회자료

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This paper describes organic acid-based wet chemical etching behaviors of amorphous Ga-doped zinc oxide (GZO) thin film sputter-deposited at low temperature (room temperature). Wet etch parameters such as etching time, temperature, and etchant concentration are investigated for formic and citric acid etchants, and their effects on the etch rate, etch residue and the feature of edge line are compared.

#GZO #PET #wet chemical etching #organic acid

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Lee, Dong-Kyoon

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Lee, Seung-Jung

소속기관 LG Research Park, LG Chem. Ltd.

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Bang, Jung-Sik

소속기관 LG Research Park, LG Chem. Ltd.

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Park, Mun-Gi

소속기관 LG Display. Ltd.

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Yang, Hee-Sun

소속기관 Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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