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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
101 - 105 (5page)

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2009

Run to Run 제어 기법을 이용한 자기연마 공정 관리
안병운 ,  박성준 한국생산제조학회지 2009.02 학술저널

2004

실험계획법에 의한 파라미터 분석과 Run to Run 제어를 이용한 폴리싱 공정 제어
안병운 ,  박성준 ,  이상조 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, polishing method using bonded magnetic abrasive particle has been applied to the micro mold polishing. Through process control using the Run-to-Run control, it tried to form the surface roughness In order to grasp the influence of the surface roughness which is reached by selection of control factor and the factor, a design of experiment was been processed. The study is processed with a purpose of to embody and to maintain the surface roughness of nano scale by the basis of an influence between a control factor and the factors which has been selected in this way. As a result, the result of the process control converged at a target value of surface roughness Ra 10㎚ and Rmax 50㎚.
#Micro mold(마이크로 금형) #Design of Experiment(실험계획법) #Run to Run control(RTR 제어) #EWMA(지수가중이동평균) #Polishing(폴리싱)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 폴리싱 메커니즘
3. Run to Run control
4. 공정 파라미터 분석과 공정 제어 결과
5. 결론
참고문헌

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