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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.11
수록면
23 - 29 (7page)

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In this study, an analysis method of an imprinting machine using FEM and flexible multi-body kinematics and dynamics is presented. The virtual simulation of nano-imprinting machine is to evaluate the prototype design in early design step. The simulation for the imprinting machine is not only to analyze static and dynamic characteristics of the machine with a template and a substrate but also to determine design parameters of the components for the imprinting machine, such as dimensions, actuator and sensor specifications. Simulations of the LCD panel and imprinting mechanism in the tilting condition between the template and the substrate using commercial FEM and multi-body dynamics programs are performed to investigate the critical design parameters for optimal design of the imprinting fabrication.
#flexible multi-body dynamics(유연다물체 동역학),imprinting(임프린팅) #LCD panel(액정디스플레이),align stage(정렬스테이지)

목차

Abstract
1. 서론
2. LCD 패널의 유한요소 해석
3. 정렬 스테이지 기구 특성 분석
4. 임프린트 접촉 평평도 증진 연구
5. 결론
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016804128