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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 패드 그루브의 특성
3. 연마실험
4. 실험 결과
5. 결론
참고문헌
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정반 그루브의 형상치수가 사파이어 기판의 연마특성에 미치는 영향
Tribology and Lubricants
2016 .08
CMP 패드 강성에 따른 산화막 불균일성(WIWNU)에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2005 .01
패드 그루브의 치수가 CMP 연마특성에 미치는 영향
대한기계학회 논문집 A권
2005 .03
CFD 를 이용한 CMP 의 Groove Sizing 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
Groove를 활용한 풍력블레이드 성능향상을 위한 수치적 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2011 .05
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한국기계가공학회지
2011 .10
Groove에 의한 원주 후류의 유동 제어
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .06
Groove에 의한 원주 후류의 유동구조 변화
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2008 .09
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한국트라이볼로지학회 학술대회
2004 .06
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한국트라이볼로지학회 학술대회
2007 .11
그루브의 형상이 히트파이프의 성능에 미치는 영향
대한설비공학회 학술발표대회논문집
1998 .11
온 · 습도 조건에 따른 Y-Groove Test 및 평가 방법 고찰
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2019 .11
그루브형 태양열 집열용 히트파이프의 열성능 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .04
그루브의 꺾임각과 폭이 헤링본 그루브 저널베어링의 윤활특성에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2012 .10
CMP 패드의 그루브 두께 프로파일 측정 방법에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
Laser Groove 표면의 젖음 특성에 관한 연구
Tribology and Lubricants
2019 .10
Characteristics of natural convective heat transfer in a vertical minichannel with two grooves
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2019 .10
내부 그루브를 갖는 전열 촉진관의 성능 해석 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2013 .06
그루브 위치가 피스톤의 윤활특성에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .04
Groove Size Effect on CMP Characteristics and Analysis
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
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