CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

CMP패드 산업동향

한국전자산업진흥회

전자진흥

2004 .01

Roll-CMP 공정에서 연질패드의 물성치가 연마율과 연마 불균일도에 미치는 영향

왕함 ,  이현섭 ,  이호준 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .04

연마입자 크기가 CMP 공정의 연마균일도에 미치는 영향

안진우 ,  조병직 ,  임대순 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2004 .11

CMP 공정에서 발생하는 연마온도 분포에 관한 연구

김형재 ,  권대희 ,  정해도 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .03

CMP 공정에서 슬러리 유량의 변화가 연마율에 미치는 영향

정영석 ,  김형재 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

연마패드의 마찰 특성이 구리 연마균일도에 미치는 영향에 관한 연구

김형재 ,  박영봉 ,  김성렬 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

CMP개론 및 현황

박진구

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

화학기계적 연마(CMP) 공정과 관련연구

이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향

이다솔 ,  정해도 ,  이현섭 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화

김태경 ,  황현덕 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

패턴 밀도에 따른 CMP 공정에 따른 연구

문원하 ,  이재경 ,  황호정

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구

손준규 ,  박성현 ,  이현섭

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

상대속도를 고려한 CMP 공정에서의 연마제거율 모델

김기현 ,  오수익 ,  전병희

소성·가공

2004 .04

CMP 공정에서의 패드 물성변화 및 입자 거동에 대한 연구

양우열 ,  성인하

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .06

사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭 ,  이다솔

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

화학기계적 연마에서 컨디셔너의 회전속도비에 따른 연마패드 마모해석

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

화학기계적연마(CMP) 컨디셔닝에 관한 연구

이성훈 ,  김형재 ,  안대균 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1999 .05

STI-CMP 적용을 위한 이중 연마 패드의 최적화

朴成祐 ,  金相用 ,  徐龍辰

전기학회논문지 C

2002 .07