CMP슬러리 산업동향

한국전자산업진흥회

전자진흥

2004 .01

연마입자 크기가 CMP 공정의 연마균일도에 미치는 영향

안진우 ,  조병직 ,  임대순 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2004 .11

CMP 공정에서 패드 홈 밀도 변화에 따른 연마특성 연구

박기현 ,  정영석 ,  김형재 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

CMP 공정에서 발생하는 연마온도 분포에 관한 연구

김형재 ,  권대희 ,  정해도 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .03

CMP개론 및 현황

박진구

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

화학기계적 연마(CMP) 공정과 관련연구

이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

김명식 ,  김형준 ,  엄대홍 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

고 연마율을 위한 MEMS CMP용 Cu 슬러리의 특성 평가

이진형 ,  김인권 ,  임현우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

CMP 슬러리의 분산성 향상에 관한 연구 ( A Study on the Improvement of the Slurry Dispersibility in CMP )

조성환 ,  김형재 ,  김호윤 외 3명

대한기계학회 논문집 A권

2001 .10

CMP 슬러리의 희석과 화학적 최적화 ( Dilution and Chemical Optimization of CMP Slurry )

김경준 ,  정해도

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

상대속도를 고려한 CMP 공정에서의 연마제거율 모델

김기현 ,  오수익 ,  전병희

소성·가공

2004 .04

사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭 ,  이다솔

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

Roll-CMP 공정에서 연질패드의 물성치가 연마율과 연마 불균일도에 미치는 영향

왕함 ,  이현섭 ,  이호준 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .04

Filter를 사용한 재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

김명식 ,  엄대홍 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

화학기계적연마(CMP) 컨디셔닝에 관한 연구

이성훈 ,  김형재 ,  안대균 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1999 .05

CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

세리아 슬러리를 사용한 화학적 기계적 연마에서 계면활성제의 농도에 따른 나노토포그래피의 스펙트럼 분석

강현구 ,  김성준 ,  백운규 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

CMP 공정의 설비요소가 공정 결함에 미치는 영향

朴成祐 ,  丁韶暎 ,  朴昌準 외 5명

전기학회논문지 C

2002 .05