층간절연막 CMP의 초음파 컨디셔닝 특성에 관한 연구

서헌덕; 정해도; 김형재; 김호윤; 이재석; 황정연; 안대균

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저자정보: 서헌덕 정해도 김형재 김호윤 이재석 황정연 안대균

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 2000年度春季學術大會論文集(Ⅱ)

발행연도: 2000.5

수록면: 854 - 857 (4page)

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