결정화된 실리콘 막질에 미치는 고온 열처리 효과

진원화; 이재갑

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 진원화 이재갑

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제9회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1995.6

수록면: 26 - 27 (2page)

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