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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
2,610 - 2,613 (4page)

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Due to their high surface area that contacts the resist to the stamp, the strong adhesion of the imprinted resist to the stamp is one of the key reliability issues for the further progress in Nanoimprint Lithography(NIL). We have studied on the improved vapor-phase ultrathin coating method for the stamp release. The anti-stiction monolayer films deposited from Trichloro- (1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl)silane and methyltrichlorosilane were characterized using contact angle analysis, atomic force microscopy(AFM) and x-ray photoelectron spectroscopy(XPS). The vapor- phase deposited monolayers were more effective than liquid-phase deposition in penetration into the nanoscale gaps of the mold and in film quality.
#Vapor-Phase Deposition(기상증착) #SAMs(자기조립단분자막) #NIL(나노임프린트)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과
4. 결론
참고문헌

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