부스터를 이용한 자유도 초정밀 위치결정 3 기구의 최적설계

한석영; 이병주; 김선정; 김종오; 정구봉

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자료유형: 학술저널

저자정보: 한석영 이병주 김선정 김종오 정구봉

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.14 No.6

발행연도: 2005.12

수록면: 101 - 109 (9page)

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Ultra-precision positioning systems basically require high natural frequency and sufficient workspace. To cope with this requirement, flexure hinge mechanisms have been proposed. However, previous designs are hard to satisfy the functional requirements of the system due to difficulty in modeling and optimizing process applying an independent axiomatic design. Therefore, this paper proposes a new design and design-order based on semi-coupled axiomatic design. A planar 3 DOF parallel type micro mechanism is chosen as an exemplary device. Based on preliminary kinematic analysis and dynamic modeling of the system, an optimal design has been carried out. To check the effectiveness of the optimal parameters obtained from theoretical approach, simulation is performed by FEM. The simulation result shows that a natural frequency of 200.53㎐ and a workspace of 200㎛ × 200㎛ can be ensured, which is in very close agreement with the specified goal of design.

#Axiomatic Design(공리적 설계) #Optimal Design(최적설계) #Workspace(작업공간) #Natural Frequency(고유 진동수) #Flexure Hinge(탄성 힌지) #Booster(증폭기) #3 DOF Ultra-precision Mechanism(3자유도 초정밀 기구)

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[학술지(정기간행물)] - / 1997 / Optimal Design of a Flexure Hinge Based XYθ Wafer Stage" 21 : 18 ~ 28

[학술지(정기간행물)] - / 1996 / "Design and Characterization of a Low-profile Micropositioning Stage" 18 : 20 ~ 29

[학술지(정기간행물)] - / 2001 / Ultra Precision Positioning System for Servo Motor- Piezo Actuator using the Dual Servo Loop and Digital Filter Implementation" 41 : 51 ~ 63

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