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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 추계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
69 - 74 (6page)

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This paper describes the development of a nano-positioning system for Micro Factory Inspection System. Conventional positioning systems, which can be expensive and complicated, require the use of laser interferometers or capacitive transducers to measure nanoscale displacements of the stage. In this study, a new self-displacement sensing (SDS) nano-stage was developed using mechanical magnification of its displacement signal. The SDS nano-stage measured the displacement of its movement using a position-sensitive photodiode (PSPD), a laser source, and a hinge-connected rotating mirror plate. A beam from a laser diode was focused onto the middle of the plate with the rotating mirror. The position variation of the reflected beam from the mirror rotation was then monitored by the PSPD. Finally, the PSPD measured the amplified displacement as opposed to the actual movement of the stage via an optical lever mechanism, providing the ability to more precisely control the nanoscale stage. The displacement amplification process was modeled by structural analysis. The simulation results of the amplification ratio showed that the distance variation between the PSPD and the mirror plate as well as the length L of the mirror plate could be used as the basic design parameters for a SDS nano-stage. Based on these results, a SDS nano-stage was fabricated using principle of displacement amplification.
#Nano Positioning #Nano stage #PSPD #Micro-factory

목차

Abstract
1. 서론
2. 자기측정 나노스테이지 개발
3. SDS Nano Stage 평가
4. 결론
후기
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