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As technology advances, there is a demand for development of hard, solid lubricant coating. (Ti,Cr)NMoS₂ films were deposited on SKD 11 tool steel substrate by co-deposition of MoS₂ with (Ti,Cr)N using a D.C. magnetron sputtering process. The influence of the N₂/Ar gas ratio, the deposition temperature, the amount of MoS₂ in the films, and the bias voltage on the mechanical and the structural properties of the films were investigated. Wear tests were performed on the films deposited in various conditions.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experimental Procedures
3. Results and Discussion
4. Conclusion
Acknowledgement
References
참고문헌 (12)
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[학술지(정기간행물)] - Renevier, N. M / 2001 / D. G. T. Teer. Surf. Coat. Technol. / D. G. T. Teer. Surf. Coat. Technol. 142 : 67 ~
[학술지(정기간행물)] - Zhang, X / 2003 / J. Vac. Sci. Technol. A / J. Vac. Sci. Technol. A 21 (2) : 416 ~
[학술지(정기간행물)] - Simmonds, M. C / 2000 / Surf. Coat. Technol. / Surf. Coat. Technol. 126 : 15 ~
[학술지(정기간행물)] - Carrera, S / 2003 / Surf. Coat. Technol. / Surf. Coat. Technol. 167 : 25 ~
[학술지(정기간행물)] - Gilmore, R / 1998 / Surf. Coat. Technol. / Surf. Coat. Technol. 108 : 345 ~
[학술지(정기간행물)] - Zhang, X / 2003 / J. Vac. Sci. Technol. A / J. Vac. Sci. Technol. A 21 (2) : 416 ~
[학술지(정기간행물)] - Simmonds, M. C / 2000 / Surf. Coat. Technol. / Surf. Coat. Technol. 126 : 15 ~
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