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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김상모 (경원대학교 전기공학과) 임유승 (경원대학교 전기공학과) 금민종 (플라즈마 응용 표면 기술센터) 김경환 (경원대학교 전기공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
발행연도
2007.1
수록면
207 - 210 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2016

FTS장치의 자계 분포에 따라 제작된 AZO 박막의 특성
김상모 ,  신건엽 ,  금민종 외 1명 반도체디스플레이기술학회지 2016.01 학술저널

2008

상온에서 제작된 AZO/Ag/AZO 다층박막의 두께에 따른 특성
김상모 ,  김경환 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

2007

Polymer 기판상에 제작된 AZO/Ag/AZO 다층박막
김상모 ,  임유승 ,  금민종 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2007.01 학술대회자료
PES 기판상에 증착된 AZO 박막의 특성
김상모 ,  김경환 전기전자재료학회논문지 2007.01 학술저널

초록· 키워드

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We prepared Al doped ZnO/Ag/Al doped ZnO on the polymer substrate by Facing Target Sputtering (FTS). FTS featured Facing Target Sputtering featured that deposition is stable at the low pressure, it has high plasma density and suppresses the substrate damage from energetic particles. We fixed to 50nm up and down thickness of AZO layer, respectively and that of intermediate Ag layer was adjusted with deposition time. In the result, AZO/Ag/AZO multilayer thin films have much better electrical conductivity than AZO single layer thin film. As increasing the thickness of Ag layer, the transmittance decreased.

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