직류 대향타겟스퍼터링법으로 제작된 ZnO 박막의 c-축 배향성

금민종 ,  손인환 ,  공석현 외 2명

한국표면공학회지

2000 .01

타겟간 거리 변화에 따른 ZnO박막의 c-축 배향성에 관한 연구

성하윤 ,  금민종 ,  손인환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .05

타겟간 거리 변화에 따른 ZnO 박막의 c-축 배향성에 관한 연구

성하윤 ,  금민종 ,  손인환 외 1명

한국표면공학회지

2000 .08

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구

李鍾德 ,  高相春 ,  宋埈泰

전기학회논문지

1996 .06

기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석

소순진 ,  유인성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향

곽상현 ,  이재빈 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

2단계 증착 방법에 의한 ZnO 박막의 c-축 배향성 및 비저항 향상에 관한 연구

이혜정 ,  이명호 ,  이진복 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

기판 표면 거칠기와 박막의 두께가 ZnO 박막의 우선배향성에 미치는 효과

이재빈 ,  곽상현 ,  김형준 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구

김정태 ,  이정용

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

대향타겟스퍼터링으로 제작된 박막의 결정 배향성

김경환 ,  손인환 ,  김명호 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

대향타겟스퍼터링으로 제작된 박막의 결정 배향성

김경환 ,  손인환 ,  송기봉 외 3명

한국표면공학회지

1998 .08

Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성

소순진 ,  박춘배 ,  왕민성

전기전자재료학회논문지

2005 .01

SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구

이승환 ,  강광용 ,  유윤식

한국전자파학회논문지

2014 .12

유도결합 플라즈마 스퍼터링을 이용한 Al이 도핑된 ZnO 박막의 저온 증착

정승재 ,  구범모 ,  한영훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

As 확산이 ZnO 박막의 특성에 미치는 효과

윤욱희 ,  명재민 ,  이동희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01