유도결합 플라즈마 스퍼터링을 이용한 플라스틱 기판 상의 Al이 도핑된 ZnO 박막 증착

정승재 ,  한영훈 ,  이정중

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성

마대영 ,  박기철

전기전자학회논문지

2020 .06

증착 압력에 따른 ZnO:Al 박막의 특성

김성연 ,  신범기 ,  김두수 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

고속ㆍ저온 스퍼터링법으로 제작된 ZnO 박막의 c-축 배향성

금민종 ,  손인환 ,  장경욱 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

ZnO : Al , In 박막의 구조적 및 전기적 특성 ( Structural and Electrical Properties of ZnO : Al , In Thin Film )

박경일 ,  서무룡 ,  홍범표 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering

Kook ,  Hong-Mo ,  Kim 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

유도결합형 플라즈마를 사용한 반응성 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 증착 및 특성분석

김동선

반도체디스플레이기술학회지

2011 .01

Influence of substrate temperature on the properties of Al doped ZnO(ZnO:Al) thin films deposited by direct current magnetron sputtering

Koo ,  Hong-Mo ,  Bang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

The low temperature process design for Al doped ZnO film synthesis on polymer

Chang S. Moon ,  Yun M. Chung ,  Woo S. Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

The low temperature synthesis of Al doped ZnO films on glass & polymer using magnetron co-sputtering : working pressure and oxygen content effect

문창성 ,  정윤모 ,  정우성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

유도결합 플라즈마 스퍼터링을 이용한 플라스틱 기판 상의 Al이 도핑된 ZnO 박막 증착

정승재 ,  한영훈 ,  이정중

한국표면공학회지

2006 .06

고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향

곽상현 ,  이재빈 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

표면 텍스쳐된 ZnO:Al 투명전도막 증착 및 특성

柳鎭洙 ,  李偵喆 ,  金錫基 외 3명

전기학회논문지 C

2003 .09

V-I Curves of p-ZnO:Al/n-ZnO:Al Junction Fabricated by RF Magnetron Sputtering

Hu-Jie Jin ,  Yun-Hwan Jeong ,  Choon-Bae Pa 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

B, Al, Ga, In의 도핑물질이 투명 전도성 ZnO 박막의 특성에미치는 영향

노영우 ,  조종래 ,  손세모 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

태양전지 응용을 위한 PC 기판상의 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구

나영일 ,  이재형 ,  임동건 외 1명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

연성 기판상에 증착한 Al 도핑된 Zno 박막의 특성

조범진 ,  금민종 ,  김경환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

대향타겟스퍼터법으로 증착된 ZnO:Al 박막의 전기적 광학적 특성

양진석 ,  성하윤 ,  금민종 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering을 이용한 투명전도성 ITO 박막의 저온 증착 및 특성 연구

구범모 ,  정승재 ,  한영훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구

이승환 ,  강광용 ,  유윤식

한국전자파학회논문지

2014 .12