PZT Sputtering Target 제작

이기성 ,  조준석 ,  이문희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Co-Sputtering 으로 제조된 PZT 박막의 전도 및 피로 특성

주재현 ,  길덕신 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

REACTIVE SPUTTER DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE FILMS

David J. Ha ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Sputtering 법으로 증착된 PZT박막의 전극에 따른 전기적 특성의 영향에 관한 연구

조능호 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

RF Magnetron Sputtering 으로 형성시킨 PZT 박막 특성 연구

하용해 ,  백수현 ,  백상훈 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

직류 마그네트론 스퍼터링 공정 중 타겟 오염에 따른 박막 및 계면 형성 특성

이진영 ,  허민 ,  이재옥 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

스퍼터링으로 제조한 PZT박막에 대한 V의 첨가 효과

길덕신 ,  주재현 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

2단계 스퍼터링에 의한 PZT박막의 유전특성

박삼규 ,  마재평

대한전자공학회 학술대회

2004 .06

Co-sputtering으로 제조된 PZT 다층막 구조의 강유전체 특성에 관한 연구

주재현 ,  길덕신 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

대향타겟식 스퍼터링 장치의 공정 조건에 따른 SiOx 가스 차단막의 특성

배강 ,  손선영 ,  김화민 외 2명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

Pulsed laser deposition of crystalline PZT thin films

윤경구 ,  이성국 ,  김재구 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

Sputtering Deposition 의 특성과 그 응용

권식철

한국표면공학회지

1981 .03

Preparation of Low-Tomperature Fired PZT Thick Films on Si by Screen Printing

JeongSeogKim ,  KyuSeokBang ,  HyeungGyuLee 외 3명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2003 .01

PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향

박상만 ,  이성갑 ,  노현지

전기전자재료학회논문지

2006 .01

에어로졸 증착법에 의한 압전 PZT 후막의 제조

김기훈 ,  방국수 ,  박찬

한국해양공학회지

2013 .12

PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성

노현지 ,  이성갑 ,  남성필 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

후열처리 조건이 탄탈륨이 첨가된 PZT 박막의 특성에 미치는 영향

길덕신 ,  주재현 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

반응성 스퍼터링법으로 형성시킨 PZT 커패시터의P-E 이력곡선의 이동현상 및 피로 특성 연구

이원종 ,  김현호

전기전자재료학회논문지

2005 .01

Effects of Substrate Temperature and Deposition Angle on Crystallinity of Tin-nitride Films Synthesized by Reactive Sputtering

Masataka Kato ,  Taku Ishii ,  Yusuke Ohta 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11