PE-MOCVD 법에 의해 증착된 SiC 박막의 특성

박승준 ,  한전건

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

Epitaxial Growth and Characterization of 3C-SiC on Si Substrate using Rapid Thermal Chemical Vapour Deposition

심현욱 ,  김광철 ,  서영훈 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Epitaxial Growth and Properties of GaN Grown by Low Pressure MOCVD

Bae Yong Kim ,  Jeong Hoon Yi ,  Doo Hyeb Yoon 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Growth of 3C-SiC ( 111 ) Thin Films by Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition

Y. H. Seo ,  K. S. Nahm ,  H. W. Shim 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Thermal Stability of epitaxial $CoSi_2$ layer on (100) Si substrate from cobalt-carbon film deposited by MOCVD

Rhee ,  Hwa-Sung ,  Lee 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Effect of Source Composition Ratio on YBCO Deposition by a MOCVD Process

Sun ,  J.W. ,  Jun 외 3명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2003 .01

Transport and Deposition in MOCVD for Thin Film Fabrication of High Temperature Superconductors

G ,  eg H. Evans ,  Ralph G 외 1명

Heat Transfer Conference

1998 .08

Si 모재 위의 Si_(x)Ge_(1-x) 박막에서 부정합 전위와 임계두께에 관한 연구 ( Study on Misfit Dislocations and Critical Thickness in a Si_(x)Ge_(1-x) Epitaxial Film on a Si Substrate )

신정훈 ,  김재현 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .06

High-Quality and High Deposition Rate of MOCVD Cu by the Additional H2 Gas

이종현 ,  박병남 ,  김재호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

The Electrical Properties of Se-Doped AlAs Epitaxial Layers Grown by MOCVD

B. C. Lee ,  S. S. Cha ,  Y. G. Shin 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

증착시 산소 첨가가 MOCVD Pt 박막의 미세구조에 미치는 영향

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

MOCVD법에 의한 AI 박막의 증착속도 분포에 대한 수치모사

정원영 ,  김도현

한국재료학회지

1996 .01

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

수평형 MOCVD 반응기 내의 InP 필름성장 제어인자에 대한 영향 평가

임익태

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .11