반응성 금속유기화학증착법에 의한 Si(100)기판 위에서 epitaxial $CoSi_2$ layer의 in situ 성장

이화성 ,  이희승 ,  박종호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Growth of Epitaxial CoSi2 using Co / Ti / Si System

김기범 ,  윤동수 ,  백홍구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

반응성 스퍼터링법으로 증착된 CoN 중간층을 이용한 (100)Si 기판 위에서의 에피택셜 CoSi 성장 연구

이승렬 ,  김선일 ,  안병태

한국재료학회지

2006 .01

반응성 화학기상증착법에 의해 다결정실리콘 위에 직접성장된 $CoSi_2$ 층의 열적안정성의 개선

이희승 ,  이화성 ,  안병태

한국재료학회지

2001 .01

Si 모재 위의 Si_(x)Ge_(1-x) 박막에서 부정합 전위와 임계두께에 관한 연구 ( Study on Misfit Dislocations and Critical Thickness in a Si_(x)Ge_(1-x) Epitaxial Film on a Si Substrate )

신정훈 ,  김재현 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .06

반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구

김선일 ,  이희승 ,  박종호 외 1명

한국재료학회지

2003 .01

Co 두께가 CoSi2 에피박막 형성에 미치는 영향 ( Effects of Co Thickness on the Formation of Epitaxial CoSi2 Thin Film )

김종렬 ,  배규식

전자공학회논문지-D

1997 .01

반응성 화학기상증착법을 이용한 에피택셜 $CoSi_2$ 박막의 형성 및 성장에 관한 연구

이화성 ,  이희승 ,  안병태

한국재료학회지

2000 .01

기판에 따른 CoSi$_2$의 열적안정성

심현상 ,  구본철 ,  김종렬 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

코발트 / 탄탈륨 이중금속박막-Si ( 001 ) 의 반응과 CoSi2 에피층의 성장 ( Reaction of Cobalt / Tantalum Bilayer Metal with Si ( 001 ) and Formation of epitaxial CoSi2 )

변정수 ,  강석봉 ,  김형준

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

Deposition of epitaxial SiC film using thermal MOCVD method

남상훈 ,  현재성 ,  지해근 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

염료감응형 태양전지용 코발트실리사이드들의 촉매 물성

김광배 ,  노윤영 ,  송오성

한국재료학회지

2016 .01

반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 $CoSi_2$ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구

김선일 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

$CoSi_{2}$ 에피박막을 확산원으로 이용하여 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성

구본철 ,  심현상 ,  정연실 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

Co/Ti 두께비가 $CoSi_2$ 에피박막 형성에 미치는 영향

김종렬 ,  배규식 ,  박윤백 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Si(200)기판의 표면 구조변화에 따른 화학적 산화막을 이용한 $CoSi_2$의 성장에 관한 연구

허진화 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

(100)Si에서 Co/Ta bilayer metal을 이용한 $CoSi_2$ 에피층 성장에 관한 연구

변정수 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Formation Mechanism of Epitaxial CoSi2 using Oxide-Interlayer

김기범 ,  곽준섭 ,  백홍구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

코발트 폴리사이드 게이트전극 형성에 관한 연구

심현상 ,  구본철 ,  정연실 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

화학적 산화막을 이용한 epitaxial $\textrm{CoSi}_2$형성과 계면구조

신영철 ,  배철휘 ,  전형탁

한국재료학회지

1998 .01