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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
84 - 85 (2page)

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3,3-Dimethyl-1-butene (C6H12) monomer를 이용하여 RF power 압력에 따라 막을 증착하였다. 증착된 비정질 탄소막은 power/pressure (W/Torr)가 증가할수록 Raman ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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