플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

플라즈마 화학증착법의 발전과 응용 ( Application and Progress of Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition Process )

김선규

대한용접·접합학회지

1997 .10

플라즈마 화학증착 텅스텐 박막 특성에 미치는 표면 반응온도의 영향 ( Effects of Surface Reaction Temperature on the Properties of Plasma Enhanced CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

마이크로 웨이브 플라즈마 CVD법에 의한 Si기판위의 다이아몬드 증착 및 특성

김선미 ,  김택수 ,  강승구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08

Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식 ,  손영웅 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

유도결합 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 cubic boron nitride 박막 증착에 관한 연구

남경희 ,  이승훈 ,  홍승찬 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

3D ICP에서 multi-segment antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 모델링

양원균 ,  김영욱 ,  고석일 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

Application of Inductively Coupled Plasma to PVD and CVD

Jung-Joong Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

특집 : 재료의 플라즈마 표면처리 기술 ; 플라즈마 이온주입 ( Plasma Source Ion Implantation )

전중환

대한용접·접합학회지

1999 .02

플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착

T.Y Eom ,  S.J. Pa ,  k 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2014 .11

Al 배선 형성을 위한 화학증착법과 물리증착법의 조합 공정에 관한 연구

이원준 ,  김운중 ,  나사균 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

비정질 실리콘 박막 증착용 고밀도 플라즈마 화학 증착장비

김창조 ,  최윤 ,  김도천 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Continuous PVD Coating in Steel Industry

Tae-Yeob Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11