메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
97 - 98 (2page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

Plasma reactor에서 Gas 주입구의 배열 구조에 따른 공정 균일도 개선 모델링
김영욱 ,  주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

2007

Gas 주입구 위치 변화에 따른 ICP-CVD SiO₂의 두께 균일도 개선 모델링
김영욱 ,  양원균 ,  고석일 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
SiH₄-Ar-O₂ICP-CVD에서 증착된 SiO₂막의 두께 균일도를 개선시키기 위해 반응가스 주입구의 위치가 두 ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

수치모델을 이용한 ICP-CVD 장치의 증착 균일도 해석
주정훈 한국표면공학회지 2008 .12
증착 균일도를 고려한 회전형 CVD 장치의 최적 운전조건 탐색
이중호 ,  곽호상 ,  김동주 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2012 .11
태양광발전시스템 전기적 안전성 평가기법
한운기 ,  안재민 ,  최종수 외 1명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2010 .06
유도결합플라즈마 CVD법을 이용한 비정질 실리콘 박막증착을 통한 다결정 실리콘 기판의 표면 passivation 특성평가
정채환 ,  류상 ,  이종호 외 1명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2010 .06
LTPS TFT LCD 패널의 광 센서를 위한 dual slope 보정 회로
우두형 전자공학회논문지-SD 2009 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0