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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
145 - 146 (2page)

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Cr-Si-N 박막은 하이브리드 코팅 시스템에 의해 온도와 바이어스의 변화에 따라 증착 되었다. 증착온도 0~300℃ 범위에서, 경도와 탄성계수는 이온의 surface mobility의 증가 때문에 향상되었지만 350℃ 이상의 증착온도에서는 결정성장 때문에 경도는 다시 감소하였다. 바이어스 0~100V까지 범위에서는, ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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