Dry Etching characteristics of GaN Using Reactive Ion Beam

J. W. Lee ,  H. S. Kim ,  Y. J. Pa 외 2명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

DRY ETCHING TECHNOLOGY

Takafumi Tokunaga

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Plasma 공정에 의한 고출력 E-mode GaN 전력반도체 특성 연구

최환히찬 ,  안결 ,  장태훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

$\textrm{Cl}_{2}/\textrm{H}_{2}$ 플라즈마 조건이 n-GaN 식각 특성 및 저저항 접촉 형성에 미치는 영향

김현수 ,  이용혁 ,  이재원 외 2명

한국재료학회지

1999 .01

p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발

Won-Ho Jang ,  Ho-Young Cha

한국정보통신학회논문지

2020 .02

Magnetized inductively coupled plasma etching of GaN in Cl₂/BCl₃plasmas

Y.H. Lee ,  Y.J. Sung ,  G.Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma

이종수 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

N-polar면의 선택적 에칭 방법을 통한 Free-standing GaN 기판의Bowing 제어

전대우 ,  김진원 ,  손호기 외 7명

전기전자재료학회논문지

2016 .01

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구

유관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)

이정기 ,  황성진 ,  이성민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구 ( Studies on Chemical Wet Etching of GaN )

윤관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04

Dry Etching of Cu With Cl2 Plasma and PEt3

Sung Eon Pa ,  k ,  Ki Bum Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각에서 공정 변수가 저항성 접촉 형성에 미치는 영향

金文永 ,  太興植 ,  李昈駿 외 3명

전기학회논문지 C

2000 .08

Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

Dry Etch 기술 동향 및 전망

김진웅

전자공학회지

2001 .08

Inductively Coupled chlorine-Based Plasma Etching of the GaN for Optoelectronic Device Application

Hyeon Soo Kim ,  Young Jun Lee ,  Geun Young Yeom

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01