Dry Etch 기술 동향 및 전망

김진웅

전자공학회지

2001 .08

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

The Fabrication Method of Tip Array by Glass Deep Dry Etching Process

박태규 ,  민정기 ,  오영택 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

The Precision of Lead Frame Etching Characteristics Using Monte-Carlo Simulations

Heung-Cheol Jeong ,  Gyung-Min Choi ,  Duck-Jool Kim

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2007 .01

통계적 기법을 이용한 에칭공정의 시뮬레이션

정흥철 ,  정지원 ,  최경민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

Etch의 기술 개발 및 Etch와 Lithography 기술 시장 동향

이종근

전자공학회지

2013 .12

에칭시스템에서 요동각 변화에 따른 에칭특성 시뮬레이션

정흥철 ,  김영진 ,  정지원 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .04

Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

이해곤 ,  손성기 ,  고민수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Lead-Frame 에칭공정에서 분무특성을 이용한 에칭특성의 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2006 .04

Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma

이종수 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

ANALYSIS AND INTERPRETATION OF ELECTRIC CHARACTERISTICS OF DRY ETCHING PROCESS FOR THE TFT-LCD FABRICATION

Kwon ,  O-Dae ,  Kwon 외 19명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

Dry Etching of Amorphous Semiconductor and Insulator

Chang-wu Hu

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2007 .07

ICP Poly Etcher를 이용한 Poly-Si Dry Etch시 Gas Flow에 따른 Etching 특성 변화 연구

김동일 ,  한승수

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

건식식각 기술 이용한 실리콘 압력센서의 특성

우동균 ,  이경일 ,  김흥락 외 2명

센서학회지

2010 .01

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01