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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제41권 제6호
발행연도
2008.12
수록면
331 - 334 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2008

나노임프린트 리소그래피를 이용한 곡면 기판 위에 정렬된 나노 볼 패턴 형성에 관한 연구
홍성훈 ,  배병주 ,  곽신웅 외 1명 한국표면공학회지 2008.12 학술저널

2006

나노임프린트 리소그래피 기술을 이용한 비평면 나노패턴 형성에 대한 연구
홍성훈 ,  변경재 ,  한강수 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 2006.01 학술대회자료

2005

나노임프린트 리소그래피를 이용한 Gold nano dot 패턴 형성에 대한 연구
홍성훈 ,  양기연 ,  이헌 한국재료학회 학술발표대회 2005.01 학술대회자료

초록· 키워드

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The replica of highly ordered nano-sphere array patterns were fabricated using hot embossing method. First, silica nano-sphere array on Si substrate was transferred to PVC f ilm at 130℃ and 7 bar using hot embossing process. Then, silica nano-sphere array on PVC template was removed by soaking the PVC film in buffered oxide etcher. In order to form anti-stiction layer, the PVC template was coated with silicon dioxide layer and self-assembled monolayer. Through UV nanoimprint lithography with the fabricated flexible PVC template, highly ordered nano-sphere array pattern was imprinted on curved substrates with high fidelity.
#Nano-sphere #Flexible template #UV nanoimprint lithography #Curved substrate

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - J. M. Weissman / 1996 / / Science 274 : 959 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - S. H. Park / 1999 / / Langmuir 15 : 266 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - S. H. Sun / 2000 / / Science 287 : 1989 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - N. D. Denkov / 1993 / / Nature 361 : 26 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - H. Miguez / 1989 / / Adv. Mater 10 : 480 ~ google schola

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