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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.4
발행연도
2009.4
수록면
128 - 133 (6page)

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Focused-ion-beam (FIB) system is capable of both machining and measuring in nano-scale; hence nano-scale focusing quality is important. This paper investigates design parameters of two electrostatic lenses in order to achieve the best ion beam focusing performance. Commercial SIMION simulator is used to optimize the dimensions of the condenser and objective lenses and investigate the influence of assembly error on focusing quality. The simulation results show that the beam focusing quality is not influenced by angle deviation within ±0.02 deg and geometrical eccentricity within ±50 micrometers.
#Focused Ion Beam (집속이온빔) #Ion Column (이온컬럼) #Design Parameter (설계파라미터) #Condenser Lens (집속렌즈) #Obective Lens (대물렌즈) #Focusing Quality (집속상테) #Assembly Error (조립오차)

목차

1. 서론
2. 기초이론
3. 시뮬레이션 방법
4. 시뮬레이션 결과
5. 결론
후기
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